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主要用于硅单晶掺杂剂，应用于光伏产业N型硅晶电池掺杂剂。
还可用于制备半导体光学器件，是制作发光二极管（LED）、激光二极管（LD）和光电探测器等重要材料。广泛应用于光纤通信系统及光电集成电路。
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