主要用于高纯合金以及锗、硅单晶掺杂剂，应用于光伏产业N型硅晶电池掺杂剂。

还可用于制备第二代半导体化合物磷化镓，是电子技术和微波技术的中重要材料。广泛应用于卫星信号接收器放大器，推动卫星通讯向更高频段发展。